D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
- 公司名稱 深圳市江麥智能科技有限公司
- 品牌 華丞電子
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/21 16:04:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 12
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī) 藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電 子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè) 備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、 工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安 裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。 D07系列質(zhì)量流量控制器一般與 D08系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,控制器與顯示 儀之間用專用電纜連接。
特點(diǎn)
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長(zhǎng)
D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)技術(shù)參數(shù)
編號(hào) |
類(lèi)型 |
D07-7K 型 |
D07-7B 型 |
D07-7C 型 |
D07-7CM 型 |
1 |
流量規(guī)格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
3 | 線性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec
|
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
10 sec |
6 | 氣壓降 |
ˉ |
ˉ |
ˉ | <0.01 MPa |
7 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa |
8 | 溫度系數(shù) | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
9 | 最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
10 | 耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
11 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 | 輸入輸出信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
13 | 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
|
14 | 重量 |
1.1 kg |
1.1 kg |
1.1 kg |
0.92 kg |
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