MAS4-BE 曝光系統(tǒng)一體機(jī)

參考價(jià)	￥ 1
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

勻膠顯影曝光機(jī)光刻系統(tǒng)曝光集成系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

‍合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備，能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時(shí)我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流，能有效幫助客戶解決工藝問題。

我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù)，滿足客戶對自營品牌的需求，讓客戶從而實(shí)現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營。

‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢：提供定制化服務(wù)，滿足客戶多樣化需求，從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn)，結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

展開

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

產(chǎn)品應(yīng)用：

MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機(jī)可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用，集成化程度更高，占地面積更小。廣泛應(yīng)用于高校研究所實(shí)驗(yàn)的光刻工藝，可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。

工藝步驟：

涂膠（放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機(jī)（放片、烘烤、取片）→曝光（放片、曝光、取片）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、取片）→取片（轉(zhuǎn)移下道工序）。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。

技術(shù)參數(shù)：