SDT600 日本Kashiyama樫山工業(yè)干式真空泵

Kashiyama樫山工業(yè)干式真空泵
Kashiyama樫山工業(yè)干式真空泵
關(guān)于應(yīng)用領(lǐng)域，結(jié)果6提到應(yīng)用于化工、電子/電池、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，這說明該泵適用于高精度和高要求的工業(yè)環(huán)境。同時(shí)，結(jié)果6還提到樫山工業(yè)在半導(dǎo)體制造中的可靠性

• 技術(shù)沉淀?：公司在真空技術(shù)領(lǐng)域擁有深厚積累，其干式真空泵系列已成為半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備之一7。

二、核心技術(shù)

1. ?無油干式設(shè)計(jì)?

• 采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，避免介質(zhì)污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境（如半導(dǎo)體晶圓制造）
  

• 支持氮?dú)獯祾吖δ埽?～80 SLM流量調(diào)節(jié)），增強(qiáng)工藝靈活性
  

2. ?高效節(jié)能技術(shù)?

• 通過新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)低功耗化（例如 SDX600 功率僅 1.5 kW）
  

• 小型化機(jī)身設(shè)計(jì)（如 SDX600 尺寸 695×285×820 mm），節(jié)省安裝空間
  

3. ?高可靠性保障?

• 符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì)，適應(yīng)工況下的穩(wěn)定運(yùn)行
  

三、核心產(chǎn)品系列

• ?SD 系列真空泵?：包含 SDX600、SDT600、SDX1200 等多型號，覆蓋抽氣速率 10,000 L/min 至 100,000 L/min，滿足不同規(guī)模需求
  

• ?產(chǎn)品兼容性?：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，擴(kuò)展應(yīng)用場景（如搭配 SDT600 或 SDX1200 使用）
  

四、應(yīng)用領(lǐng)域

• ?半導(dǎo)體制造?：用于晶圓加工、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制
  

• ?電子/電池行業(yè)?：支持鋰電池生產(chǎn)、精密元件封裝等潔凈場景
  

• ?實(shí)驗(yàn)室與化工?：適用于高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理

• 技術(shù)參數(shù)?

• ?最大排氣速度?：10,000 l/min

• ?極限壓力?：0.5 Pa

• ?功率?：1.5 kW

• ?冷卻水需求?：3.0 l/min

• ?外形尺寸?：695×285×820 mm

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