MFC330 四川微小氣體流量計(jì)
| 參考價(jià) | ￥4600.00 |
- 公司名稱 蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌愛(ài)拓利
- 型號(hào)MFC330
- 所在地蘇州市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/5/19 9:08:15
- 訪問(wèn)次數(shù) 32
| MFC300 | 4600.00元 | 100 件可售 |
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥 |
我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡(jiǎn)稱 MFC330），
主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡(jiǎn)潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡(jiǎn)便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊；具有多氣體測(cè)量，高 精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工
業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻
蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類(lèi) 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測(cè)量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒
預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門(mén) 常閉式
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