化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備> Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列
Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列
- 公司名稱(chēng) 普泰克(上海)制冷設(shè)備技術(shù)有限公司
- 品牌 proteco/普泰克
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/2 14:08:02
- 訪問(wèn)次數(shù) 177
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品,可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制,控溫精度在±0.1℃以?xún)?nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域,激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。主要部件均采用國(guó)際的品牌,產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿(mǎn)足工藝條件要求。