ET4000系列 KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 美薩科技(蘇州)有限公司
- 品牌 KOSAKA/小坂研究所
- 型號 ET4000系列
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/7/26 10:45:04
- 訪問次數(shù) 43
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 10萬-20萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件 |
KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)
KOSAKA 臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)
● 高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī),針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測量
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
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重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
測定范圍 | Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動探索樣品表面