NS-OEM系列（膜厚測量套件）
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 蘇州悉識科技有限公司
- 品牌 Acuitik
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/10/21 8:43:37
- 訪問次數(shù) 66
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,汽車及零部件 |
NS-OEM系列（膜厚測量套件）是基于 NS-20 薄膜測厚儀研發(fā)的。其光學探頭設計得較為緊湊，可適用于多種安裝環(huán)境。為確保測量精準，光學探頭需與樣品表面保持垂直，建議使用我們配備的調(diào)角工具來精準調(diào)節(jié)安裝角度。光學探頭經(jīng)由光纖連接到主機，光纖長度靈活可變，能夠滿足不同布局的安裝需求。
波長范圍: 190–1000 nm 或 350–1100 nm.
光學探頭專為集成到自動化設備、在線系統(tǒng)、真空腔室、原位生長腔室以及其他特殊環(huán)境而設計，以滿足多樣化的應用需求。
NS-OEM系列（膜厚測量套件）參數(shù)規(guī)格
| 型號 | NS-OEM |
| 波長范圍 | UV: 190 nm – 1100 nm STANDARD: 350-1050 nm NIR: 900-1700 nm HR980: 950 – 1100 nm HR1310: 1280 – 1340 nm HR1550: 1520 – 1580 nm |
| 厚度測量范圍1 | 1 nm – 1 mm |
| 準確度2 | 2 nm 或 0.2% （取較大者） |
| 靜態(tài)重復精度3 | 0.02 nm |
| 光斑大小 | 200 um ~ 2 mm, 標準大小1.5 mm |
| 測量速度4 | < 1s（單次測量） |
| 光源 | UV: 鹵鎢燈 + 氘燈 STANDARD:鹵鎢燈 HR980: SLED |
| 主機-光學探頭連接方式 | 光纖 |
| 光纖長度 | 1.3 米 (標準), 可選配不同長度的光纖以適配實際環(huán)境，最大20米 |
| 光學探頭尺寸 | 直徑: 19 mm, 長度: 86 mm |
| 電源類型 | 90-264VAC, 47-63Hz, 1.4A/115VAC 1A/230VAC |
1. 取決于被測樣品材料以及選用的波段范圍.
2.選用硅晶圓上的二氧化硅標準厚度樣品 (厚度范圍500~1000nm).
3.計算100次測量500nm SiO2標準片的1倍標準偏差，對20個有效測量日的1倍標準偏差取平均
4.取決于配方復雜度，標準案例為硅晶圓上的二氧化硅標準厚度測量配方
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