英邁儀器（天津）有限公司
光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測器應(yīng)用簡報
檢測樣品：集成電路
檢測項目：光酸劑
方案概述：光刻膠中的光酸劑（PhotoacidGenerator,PAG）是關(guān)鍵成分，在紫外曝光后釋放酸，驅(qū)動光刻膠的化學反應(yīng)。英邁儀器的**電霧式檢測器（CAD）**能夠勝任對光酸劑的檢測，特別是在監(jiān)控PAG濃度及其穩(wěn)定性方面，對保障半導體制程至關(guān)重要。
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