半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案

疑似點(diǎn)手工采樣實(shí)驗(yàn)室分析：

• 系統(tǒng)用于實(shí)驗(yàn)室中，基于捕集能力強(qiáng)、去除雜質(zhì)能力強(qiáng)、抗吸附能力強(qiáng)、進(jìn)樣精確度高、各氣路專用、全流程無冷點(diǎn)、清洗非常干凈等特點(diǎn)，共同作用，得到更低的檢出限

• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對樣本進(jìn)行物質(zhì)全分析

• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測方法包

• 檢測時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì)，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

晶圓石英加熱爐，加熱揮發(fā)進(jìn)樣：

• 專為半導(dǎo)體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測方法包

• 檢測時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì)，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

3、工作臺 - 便攜式 AMC（VOCs）精準(zhǔn)分析系統(tǒng)

工作臺 - 污染溯源分析：

• 分析快速

     單質(zhì)譜走航模式，儀器不經(jīng)過色譜柱直接進(jìn)入質(zhì)譜，秒級分析，實(shí)時(shí)出具數(shù)據(jù)。

• 靈敏度高

     針對性溯源，靈敏度更高：單質(zhì)譜模式，秒級響應(yīng)，實(shí)時(shí)動態(tài)顯示污染情況， 必要時(shí)可篩選離子使用 SIM 模式開展針對性走航。

     膜進(jìn)樣技術(shù)使得樣品進(jìn)入質(zhì)譜前可以進(jìn)行二次富集，提高靈敏度

• 溯源精準(zhǔn)

     全新走航模式，深入車間，直指源頭

      相對傳統(tǒng)走航設(shè)備質(zhì)量更輕、抗震性更強(qiáng)，在傳統(tǒng)走航的基礎(chǔ)上可進(jìn)一步進(jìn)入車間，精準(zhǔn)溯源至污染產(chǎn)生工藝點(diǎn)位，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)污染點(diǎn)的治理。

• 結(jié)果準(zhǔn)確

       雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點(diǎn)分析模式

       使用 70eV EI 源 + 四級桿質(zhì)譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs，依托標(biāo)準(zhǔn) NIST 譜庫，準(zhǔn)確定性；國標(biāo)加持，結(jié)果與實(shí)驗(yàn)室可比。

• 環(huán)境適用性強(qiáng)

    非機(jī)械泵真空系統(tǒng)，環(huán)境適用性更強(qiáng)

    摒棄高速旋轉(zhuǎn)組件，采用非機(jī)械真空泵，解決多維大幅振動中無法運(yùn)行檢測等問題。

數(shù)據(jù)結(jié)果與檢測譜圖

半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案介紹完畢，欲了解更多信息，請聯(lián)系我們 ！