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日本USHIO牛尾172nm簡易照明裝置Min-Excimer
172nm簡易照明裝置Min-Excimer
是以被在平板顯示器的光沖洗或者塑料的表面改革等的各種各樣的制造過程使用的受激準分電燈為基礎了的簡易照明裝置。
因為本體尺寸是A5尺寸和連鏡小粉盒所以,根據(jù)不使用N2實用程序的簡單的結構,能簡便進行用臺上水準的簡易戰(zhàn)勝的柔軟的實驗。
被簡單的結構實現(xiàn)低價
因為不需要N2所以能在臺上簡便要使用、隨身攜帶
波長照度照射エリア寸法ユーテリィティ
| 172nm |
| 10mW/cm2以上 |
| 80mm×50mm |
| 本體：W209mm×D148mm×H66mm 3.5kg 電源：W120mm×D210mm×H95mm 1.5kg |
| 電源：AC100～240V±10V、0.15kVA以上、50/60Hz オゾン排気 オゾン発生量 約15mg/min 必要排気風量 1～2m3/min |
※本製品をお使いの場合、必ず排気設備のある環(huán)境でお使いください。主要的用途
親水化
出自理智的沖洗的有機物分解
出自濡濕性改進的粘接性提高
改革
甲烷分解,NOx分解
理智的氧化膜的形成
成膜
架橋、聚合、光定位
VUV干燥
帶電除去
熒光體色度檢查
煤氣的激勵
活性酸素、臭氧的形成
光CVD