理化公司成為美國JC Nabity公司中國地區(qū)授權(quán)代理商

        理化公司成為美國JC Nabity公司NPGS納米圖形發(fā)生系統(tǒng)中國地區(qū)授權(quán)代理商。美國JC Nabity Lithography Systems成立于1988年，公司成功研發(fā)了基于改造SEM、STEM或FIB的電子束曝光裝置（Nanometer Pattern Generation System納米圖形發(fā)生系統(tǒng)，簡稱NPGS，又稱電子束微影系統(tǒng)）。電子束曝光技術(shù)具有可直接刻畫精細(xì)圖案的優(yōu)點(diǎn)，且高能電子的波長短（< 1 nm），可避免繞射效應(yīng)的困擾，是實(shí)驗(yàn)室制作微小納米電子元件*的選擇。相對于購買昂貴的電子束曝光機(jī)臺，以既有的SEM等為基礎(chǔ)，外加電子束控制系統(tǒng)，透過電腦介面控制電子顯微鏡中電子束之矢量掃描，以進(jìn)行直接刻畫圖案，在造價方面可大幅節(jié)省，且兼具原SEM 的觀測功能，在功能與價格方面均具有優(yōu)勢。由于其具有高分辨率以及低成本等特點(diǎn)，在北美研究機(jī)構(gòu)中，JC Nabity的NPGS是的配套于掃描電鏡的電子束微影曝光系統(tǒng)，而且它的應(yīng)用在世界各地越來越廣泛。
        NPGS的技術(shù)目標(biāo)是提供一個功能強(qiáng)大的多樣化簡易操作系統(tǒng)，結(jié)合使用市面上已有的掃描電鏡、掃描透射電鏡或聚焦離子束裝置，用來實(shí)現(xiàn)藝術(shù)級的電子束或離子束平版印刷技術(shù)。NPGS能成功滿足這個目的，得到了當(dāng)前眾多用戶的強(qiáng)烈推薦和一致肯定。