目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>晶圓測試儀器>> FPULT-UH204全自動晶圓曝光機
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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全自動晶圓曝光機UH204是Ultron Systems紫外線固化機,作為全自動UV曝光設(shè)備,具有高效率和成本效益。固化時間非常快,與其他UV固化系統(tǒng)相當,同時保持UV曝光均勻性。固化采用了一種冷光源UV-a 365nm工藝，以及一種環(huán)保、無臭氧的UV燈陣列。
全自動晶圓曝光機特征：
-全自動單盒操作系統(tǒng)
-最多8英寸（200mm）晶片容量，包括6英寸或8英寸薄膜框架適配器
-自動掃描功能檢測暗盒載體中是否存在膠片框
-環(huán)保型無臭氧紫外線燈
-快速固化時間
-易于編程的微處理器控制器
-可重復、可靠的單盒操作
-成本/性能價值
-低溫UVA 365nm固化工藝
-高效節(jié)能
-石英玻璃窗
-燈強度測量端口
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