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【產品簡介】
【詳細說明】
超平硅片（基底材料）
超平硅片（基底材料），常作為AFM基地片用在科學研究中。超平，直徑有100mm、150mm、200mm三種規(guī)格可選。
的一些參數(shù)如下：
4" | 6" | 8" | |
直徑 | 100 mm | 150 mm | 200 mm |
向性 | <100> | <100> | <100> |
級別 | P/Boron | P/Boron | P/Boron |
Growth Method: | CZ | CZ | CZ |
電阻率 | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm |
厚度 | 525µm ±20µm | 675µm ±20µm | 725µm ±20µm |
TTV: | <4.00µm | <4.00µm | <4.00µm |
SFPD: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
Warp: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
Bow: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
微粒數(shù) | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm |
正面Front Surface | Polished | Polished | Polished |
背面Back Surface | Etched | Etched | Etched |
平整度Flat: | 2 per SEMI Standard | 1 per SEMI Standard | 2 per SEMI Standard |
Site Flatness: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
粗糙Roughness | Typically 2-3? | Typically 2-3? | Typically 2-3? |
銷售信息：
貨號 | 產品名稱 | 規(guī)格 |
71893-01 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 4" | 1片 |
71893-02 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 6" | 1片 |
71893-03 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 8" | 1片 |