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多角度激光橢偏儀專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有*的精確度和準確度。

激光橢偏儀
型號	SY.29-LE
圖片
簡介	多角度激光橢偏儀專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有的精確度和準確度。多角度激光橢偏儀 - 產(chǎn)品特點* ■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片 ■ 可以測量拋光片，精確度和準確度* ■ 可以測量粗糙表面的“絨片” ■ 適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量 ■ 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進行測量和評估，提高測量精度 ■ 配置有高穩(wěn)定度補償器，提供zui小的漂移值和zui小的測量誤差 ■ 配置有高精度的自動光學對準顯微鏡 ■ 可進行20°－90°范圍內(nèi)的多角度測量多角度激光橢偏儀 - 測量特點 ■ 非破環(huán)性檢測 ■ 樣品準直簡單方便 ■ 測量速度快 ■ 可變?nèi)肷浣欠秶鷮?br />■ 測量 ■ 軟件分析功能強多角度激光橢偏儀 - 技術指標 ■ 光源：He-Ne激光器 ■ 光斑直徑：1-2mm ■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步 ■ 精度：0.002°~ 0.02° ■ 膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si ■ 折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si ■ 激光光斑：直徑1mm ■ 激光波長632.8 nm