聯(lián)系電話
北京中慧天誠科技有限公司
中級會員·16年
射頻ICP薄膜沉積裝置型號：ZH5495
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
- 品牌
- 其他 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
訪問次數(shù)：1285更新時間：2024-11-23 07:56:45
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
- 聯(lián)系人：
- 張先生
- 電話：
- 010-89942170/89942167
- 手機：
- 15652257065
- 售后：
- 010-89942167
- 傳真：
- 010-89942170
- 地址：
- 北京市石景山區(qū)城通街26號
- 個性化：
- www.zhonghuibj.com
- 網(wǎng)址：
- www.centrwin.com
掃一掃訪問手機商鋪
產(chǎn)品介紹
| 射頻ICP薄膜沉積裝置型號：ZH5495 | 貨號：ZH5495 |
| 產(chǎn)品簡介 本裝置主要由薄膜沉積室、真空抽氣系統(tǒng)、氣源進(jìn)氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、襯底加熱溫度控制系統(tǒng)等部分組成。 通過本實驗裝置可以掌握CVD（化學(xué)氣相沉積）；理解CVD的成膜過程及要求，化學(xué)輸運反應(yīng)的原理，等離子體CV表面粗糙度樣板D的原理、特點及等離子體的激勵方式；了解該在電學(xué)、光學(xué)、微電子學(xué)等領(lǐng)域的廣闊應(yīng)用前景。 可開設(shè)的實驗 1、P型微晶硅材料及在薄膜太陽能電池上的應(yīng)用； 2、硅系納米復(fù)合薄膜材料PCVD法制備； 3、電容耦合/電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積制備種功能薄膜。 主要參數(shù) 1、薄膜沉積室：由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成；尺寸：Φ220×H230mm； 2、薄膜沉積室本底真空： ≤1Pa； 3、射頻耦合方式：電容耦合/電感耦合；射頻源功率：帶500W 13.56MHz； 4、氣路系統(tǒng)：由三路轉(zhuǎn)子流量計控制（可選配流量計）； 5、襯底加熱溫度：燒結(jié)車掃描測溫云臺室溫至300℃可控； 6、平行板電：Φ70mm； 7、工作反應(yīng)氣體：由電板上微孔均勻?qū)耄?br /> 8、真空抽氣系統(tǒng)：2XZ-4型旋片機械泵，4L/S，單相220V交流電源供電； 9、管道、閥門：材質(zhì)使用不銹鋼和金屬波紋管； 10、對過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施； 11、供電電源：AC220V，50Hz，整機功率2KW。 www.centrwin.com |  |
相關(guān)產(chǎn)品
