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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM
nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種樣品臺(tái)，滿足各種高精度的噴金或電生長需求。除了濺射金屬電外，nanoEM還具有大的拓展空間，雖然作為臺(tái)式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達(dá)300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動(dòng)壓強(qiáng)控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長需求，可升成為臺(tái)多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實(shí)驗(yàn)室的青睞。
主要點(diǎn)： ◎ 能夠達(dá)到學(xué)術(shù)研究的多功能噴金儀 ◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種樣品臺(tái)可選 ◎ 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源 ◎ 通用的濺射靶材 ◎ 本底真空<5×10-7 mbar ◎ 流量計(jì)精確控制生長氣氛 ◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達(dá)300W ◎ 全自動(dòng)，引導(dǎo)式觸屏控制 ◎ 完備的安全性設(shè)計(jì) ◎ 易于維護(hù) ◎ 兼容超凈室 ◎ 穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
系統(tǒng)選件： ◎ 腔體視窗 ◎ 真空泵型號(hào)可選 ◎ 氣壓全自動(dòng)控制系統(tǒng) ◎ 濺射源擋板 ◎ 等離子體輝光電 ◎ 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)與傾斜 ◎ 晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng) |
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