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高純氣體露點(diǎn)變送器PUR-TX-OL 范圍 -120~-40°C露點(diǎn)、 精度 ±

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更新時間:2021-06-09 08:07:56瀏覽次數(shù):1715

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產(chǎn)品簡介

專為高純氣體運(yùn)用場合,測量微量濕度水平的一體式變送器。
測量范圍:-120~-40°C露點(diǎn)
精度:±1°C露點(diǎn)
工作壓力:30 MPa

詳細(xì)介紹

專為高純氣體運(yùn)用場合,測量微量濕度水平的一體式變送器。 
特點(diǎn): 
◆  安裝簡便 
◆  高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性 
◆  測量范圍達(dá)-120°C露點(diǎn)(<1ppbV)  
◆  100級潔凈室凈化包裝 
典型運(yùn)用: 
 ◆  在線檢測半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度 

技術(shù)參數(shù):


測量范圍:

-120~-40°C露點(diǎn)

精度:

±1°C露點(diǎn)

工作壓力:

30 MPa

工作溫度:

-20~+50°C

氣室材料:

冷拉不銹鋼, 內(nèi)部0.1~0.2 微米電拋光

防護(hù)等級:

IP 65

氣路接口:

1/4’’VCR

流量等級:

建議為1~5 NL/Min

工作電源:

12~28VDC

輸出信號:

4-20mA(RS485 可選)

溯源性:

NPL(英國)和NIST(美國)

質(zhì)量保證期:

12個月

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