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北京綠野創(chuàng)能機電設備有限公司資料大小
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(1) 在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線,檢查保險絲管有無松動。
(2) 打開背板上的電源開關(guān)(將I按下)此時面板上的數(shù)字表及各控制開關(guān)上均有指示燈點亮。
(3)從左向右,察看控制開關(guān),先將電流換檔開關(guān)置于“1mA”, 在測硅片、硅塊時ρ/R置于“ρ”, 在測方塊電阻時ρ/R置于“R”,校準/測量檔選在“校準”。
(4)將四探針頭壓在樣品上,此時數(shù)字表上顯示的是測量電流;
如選用間距為1.00mm的四探針頭,
在10 mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示6.28,即I=6.28mA。
在1 mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示62.8,即I=0.628mA。
如選用間距為1.59mm的四探針頭,
在10 mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示10.0,即I=10mA。
在1 mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示100.0,即I=1mA。
(5)將zui右邊的按鈕按下,測量燈亮。此時數(shù)字表上顯示的是欲測樣品電阻率,樣品電阻率在1.0Ω·cm至199.9Ω·cm之間均可用此檔(1mA)測量,如數(shù)字表顯示1,后三位全不顯示時,表示材料電阻率大于200Ω·cm。
(6)電流選擇
電阻率≥1Ω·cm時選用1mA檔測量。
方塊電阻≥10Ω/□時選用1mA檔測量。
電阻率≤1Ω·cm時選用10mA檔測量。
方塊電阻≤10Ω/□時選用10mA檔測量。
例如:選用間距為1.00mm的四探針頭, 當電流換檔開關(guān)按到10mA檔燈亮,將測量/校準開關(guān)按至“校準”燈亮,調(diào)節(jié)下面的粗、細調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示6.28,此時測量電流即為6.28mA。將測量/校準開關(guān)按至測量時燈亮,此時讀出的數(shù)即是電阻率值,測量范圍在0.01至1.00Ω·cm,如數(shù)字表顯示0.00時,即表示材料電阻率很低,已小于0.01Ω·cm。
測量硅片電阻率時,請先用卡尺測出厚度,再在校準檔按附表調(diào)節(jié)好電流后,轉(zhuǎn)到測量檔即可方便讀出電阻率數(shù)。
文章來源:北京綠野創(chuàng)能機電設備有限公司
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