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技術(shù)規(guī)格
技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
圓弧2 | ±（2+R/8）μm | |
角度3 | ±2′ | |
直線度4 | 0.8μm/100mm | |
運(yùn)動(dòng)控制 | X軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
Z軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
X軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.1~10mm/s | |
Z軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.5-10mm/s |
注：1、H為水平位置上的測(cè)量高度；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；3、60°、90°的角度塊，角邊取樣長(zhǎng)度為5mm；4、λc為2.5mm，測(cè)量速度為≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃，階梯溫度不超過(guò)2℃/h的環(huán)境下測(cè)得；7、地面震動(dòng)大RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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