Agilent HP 4157B 模塊半導體參數分析儀
x資料:
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工業(yè)化挑戰(zhàn)
面對不斷變化的參數測試挑戰(zhàn),工程師和科學家繼續(xù)從事當前和未來半導體處理技術。
減少測試成本。靈活和可擴展的解決方案必須是要用戶化的,保證測量硬件不會過時
確的極低的電流和低電壓測量。有些測試需要電流分辨率<1fA或電壓測試精度<1微伏。
簡單的電容對電壓和電流對電壓測試。CV和IV測試都是描述半導體器件所必須的。但是由于要求電纜,兩者的開關切換是比較困難的(特別是在晶片探針臺上用定位器)。
解決了大多的參數測量挑戰(zhàn)
4147B可以解決大多數的的參數測量挑戰(zhàn)。以滿足工程師和科學家當前和以后的半導體處理技術。4157B可以即滿足他們需求又可以節(jié)省成本。多種類的模塊和良好的測量特性(比如用戶掃描/步進能力,并行多通路的掃描能力,線性/二進位的檢索,量程管理,激勵值自檢測)為參數測量和分析提供完整的解決方案。
不象那些系統控制器和測試資源組合在一起的方案,4157B讓你自由的獨立管理這些資源,因此可以避免你以前花費昂貴PC成為廢品。因為你可以在不喪失你測試能力的情況下升級你的PC或軟件。
4157B的HRSMU在不需要前置放大器的條件下可提供1fA的測試精度。對不需要極低的電流測試的情況,4157B HRSMU是非常有效的解決方案。4157B HRSMU 可以在不需要前置放大器的條件下可提供1fA的測試精度。這種能力可以讓你面對大多數的當前和未來器件的巨大挑戰(zhàn)。
HRSMU(以及MPSMU)也支持的0.5 V 和5 V測量,可以提高現代較低壓晶體管的精度。電壓分辨率低至0.5 microvolts。
- 靈活提供穩(wěn)定的100 aA 測量
4157B HRSMU可以選擇attoamp和開關單元(ASU),能增加低電流分辨率到100 attoamps.
4157B可以和ASU結合起來提供100 attoamps的電流測試分辨率。這是某些表征所必要的,如存儲器單元泄漏測試。另外,當使用ASU時你也可以使電壓測試和電壓及電流激勵達到HRSMU的規(guī)格極限
- 不需電纜而切換CV 和IV 測量
ASU可以不用電纜而實現100 attoamp測試和高精度的電容測試的切換。
4157B提供兩個兼容Agilent電容表輸出BNC輸入端,簡單的軟件命令就可以讓你在不需要變換任何電纜的情況下切換基本的SMU測試(IV)和基本的電容測試(CV)。當然,你也可以連接BNC輸入和其他的測試儀器,如數字伏特表(DVM)或脈沖發(fā)生器單元(PGU)。無論什么配置,ASU都可以提供比外加開關矩陣更好的開關測試性能,讓你的使用更加輕松。
特點和優(yōu)勢
特點 | 好處 |
HRSMU可以在沒有外部前置放大器的情況下達到1 femtoamp的電流分辨率 | 不用外部前置放大器就可以面對大多數的當前和未來的器件程序測試的挑戰(zhàn) |
HRSMU和ASU單元結合達到100 attoamp的測試精度。 | 穩(wěn)定的100attoamp電流測試分辨率適合過分要求的這種低電流測試的需要。 |
簡單的軟件命令ASU就可以實現在CV和IV測試之間切換 | 不需要改變電纜或移動到不同的探針位置。 |
MPSMU 和 HRSMU的電壓測量分辨率0.5 microvolt,都支持0.5V到5V的測量范圍 | 可以很容易的完成高要求的器件匹配組成和金屬線的電電阻壓測量。 |
快速安裝,4157B基于PC的 Windows XP。I/CV 3.0 Lite軟件 | 這是個完整的解決方案。簡單的上電控制,用USB/GPIB連接到儀器,就可以用鼠標點擊測試。 |
主要規(guī)格
主機特性 |
| E5270B 8-槽精密測量主機 |
zui大插槽 | 8 |
(GNDU)接地能力 | 4.0 A |
儀器控制 | GPIB |
外部觸發(fā)I/O | 1 BNC Trigger In; 1 BNC Trigger Out; 8 Programmable Trigger In/Out |
模塊選擇指導 |
| E5280B HPSMU | E5281B MPSMU | E5287A HRSMU | E5288A ASU |
占用插槽 | 2 | 1 | 1 | N/A |
zui大激勵電壓 | ± 200 V | ± 100 V | ± 100 V | ± 100 V |
zui大激勵電流 | ± 1 A | ± 100 mA | ± 100 mA | ± 100 mA |
電壓測量分辨率 | 2 mV | 0.5 mV | 0.5 mV | 0.5 mV |
電流測量分辨率 | 10 fA | 10 fA | 1 fA | 0.1 fA |
I/CV 3.0 Lite 自動化軟件特性 |
| |
數據采集和控制 | |
用戶接口 | Windows GUI |
同時多任務觀察 | Yes |
器件和晶元測試序列 | Yes |
工廠提供CV驅動和分析程序 | Yes |
工廠提供開關驅動 | Yes |
工廠提供探針驅動 | Yes |
繪圖和報告 | |
內置 Excel 格式文件 | Yes |
DDE直接Excel 數據轉換 | Yes |
CSV文件輸出 | Yes |
實時圖形數據分析 | Yes |
支持PC打印口 | Parallel and USB |
統計分析,晶元鏡像和直方圖 | Yes |
環(huán)境和連接性 | |
操作系統 | Windows 2000 and XP Professional |
CD-RW 和硬盤 | Yes (on PC) |
網絡 | Yes (on PC) |
支持 PC 外設 | Any peripheral using USB/PCI |
CPU 能力 | Any 300 MHz or faster CPU |
PC 用戶升級 | Yes |
4157B 模塊半導體參數分析儀