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日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號

閱讀:791        發(fā)布時間:2015-3-13

日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號

日本電測X線熒光膜厚儀是哪個型號?日本電測X線熒光膜厚儀是EX-731這個型號,該膜厚儀是一款專門用來測試各種元素厚度的一種儀器。采用多能譜分析器,使用256高頻分析器,光譜自動分析. 高可測量3層膜厚.


日本電測X線熒光膜厚儀EX-731客戶案例

南京尚愛機(jī)電有限公司
青島威奧涂裝有限公司
珠海市海菲自動門有限公司
深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
珠海贛星自動化設(shè)備有限公司


日本電測X線熒光膜厚儀EX-731規(guī)格參數(shù)

測量臺操作方式

手動

自動

測量行程

單位(mm)

170 × 110

300 × 280

移動量

X(mm)

70

80

Y(mm)

70

60

Z(mm)

80(測定物高 大150

50

測定物高( 大)

80150可選)

50

外形(mm)

600(W)×465(D)×730(H)

重量(kg)

79

85

測量臺載重(kg)

3

1

電源

AC200V±10V

X線源

油浸式小型微焦點(diǎn)X線管
管電圧50kV
管電流可変

照射方式

上面垂直照射方式

検出器

比例計(jì)數(shù)管

準(zhǔn)直孔

5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(
可選換如下準(zhǔn)直孔)
0.05×0.5,0.05φ

樣品觀察

CCD鏡頭

測定対象

原子番號22(Ti)82(Pb)
原子番號21以下可應(yīng)用吸收法測量

濾波器

 (CoNi)自動切換

厚度測定范圍

原子番號22240.2~約20μm
原子番號25400.1~約30μm
原子番號41510.2~約70μm
原子番號52820.05~約10μm

検量線

検量線自動作成

測量功能

単層膜厚測定
2層膜厚測定
3層膜厚測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解膜厚測定

測量模式

自動測量
X-Ray功率可選擇

自動測量臺功能

測定位置(X-Y-Z)
同一點(diǎn)重復(fù)測量功能
原點(diǎn)補(bǔ)正功能

測定位置確認(rèn)功能
自動校正

數(shù)據(jù)処理機(jī)能

統(tǒng)計(jì)量表示:平均、標(biāo)準(zhǔn)偏差、 大、 小、方差、CpCpk
餅圖表示
柱狀圖表示
測定值立體圖表示
-R管理圖


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