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加野0.1μm級超小型粒子計數(shù)器為芯片制造保駕護航!

時間:2021-8-19閱讀:260
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加野0.1μm級超小型粒子計數(shù)器為芯片制造保駕護航!

2020915日,美國禁止為華為提供5G芯片,也不準用機器為華為生產(chǎn)5G芯片,導致華為空有一身強悍技術(shù),卻因為光刻機等原因缺芯少魂,無處施展。美國采取“斷供"的方式已對中國59家企業(yè)實施“制裁",如果這一批科技產(chǎn)業(yè)鏈*們倒下,中國的全產(chǎn)業(yè)鏈升級、中國制造大升級將*失敗,絕非危言聳聽。

 

國人當自強!光刻機、光刻膠、芯片研發(fā)等全產(chǎn)業(yè)鏈的所有生產(chǎn)、技術(shù)都要自主研發(fā),12寸晶圓、光掩膜、EUV光源、透鏡等都要自己制造,芯片自主化生產(chǎn)之路已成必然趨勢。

 

電子芯片.jpg


由于芯片制造工藝及封裝等生產(chǎn)流程極其復雜,對生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求*,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量至關(guān)重要!

 

KANOMAX公司推出的超小型粒子計數(shù)器3950,同時監(jiān)測0.1μm0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù),也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子,為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù),為芯片制造保駕護航!

 

3950.jpg


Kanomax超小型粒子計數(shù)器MODEL 3950,不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承,實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中,致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。

 

通過超小型化的設(shè)計,使0.1μm級粒子計數(shù)器可嵌入裝備使用。

 

20200326120414209.png


應用范圍:

作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區(qū)域的管理

20200326120440635.png


 

    

塵埃粒子計數(shù)器

    

3950-00

粒子測量

測試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑(0.10.3μm

額定流量

0.1CFM2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921ISO21501-4)

測量時間

6~9959秒(1次測量時間)

間隔時間

6~9959秒(測量周期)

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測試

地點設(shè)定

99個地點

測量方式

重復、單次、連續(xù)、計算

測量數(shù)據(jù)顯示時間

1~10

測量數(shù)據(jù)顯示

累計值∑ 差分值△及柱形圖

最大可測濃度

10,000,000/m3

計數(shù)效率

50±20%(相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子)

100±10%(相對于最小可測粒徑的1.5~2倍的PSL粒子)

(符合JIS B9921 ISO21501-4

  數(shù)

<1/35min

粒徑分辨率

15%以下(相對0.3μmPSL粒子)

(符合JIS B9921 ISO21501-4

    

內(nèi)置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

    

USBHost用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)

Ethernet、RS485960019200、38400 baud

數(shù)據(jù)存儲

    

內(nèi)存

數(shù)量、格式

最大10,000個、CSV格式

顯示語言

英文、日語

電   源

AC100~240V

使用環(huán)境

    

15~35℃、0~85%RH (無結(jié)露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

重    量

3.4kg

 

Kanomax超小型粒子計數(shù)器3950自推出以來好評不斷,廣泛應用于半導體、生物制藥、食品衛(wèi)生、空調(diào)凈化、精密機械等眾多行業(yè)測試領(lǐng)域。


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