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等離子清洗機(jī)性能穩(wěn)定,性價比高,操作簡便,使用成本低,不使用化學(xué)溶劑,易于維護(hù)的特點(diǎn)。對各種幾何形狀,表面粗糙程度各異的金屬,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性,**地去除材料表面的有機(jī)染物。
等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域預(yù)處理的作用:
優(yōu)化引線鍵合(打線),微電子器件的可靠性有決定性影響,采用等離子清洗機(jī)有效去除鍵合區(qū)內(nèi)表面污染并使其表面活化,提高引線鍵合拉力。
等離子清洗機(jī)在芯片粘接前處理,對芯片與封裝基板的表面采用等離子清洗機(jī)有效增加其表面活性,改善粘接環(huán)氧樹脂在其表面的流動性,提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導(dǎo)能力,提高IC封裝的可靠性、穩(wěn)定性,增加產(chǎn)品的壽命。
倒裝芯片封裝,提高焊接可靠性,經(jīng)等離子體清洗機(jī)的處理可達(dá)到引線框架表面超凈化和活化的效果,成品良率比傳統(tǒng)的濕法清洗會極大的提高。
陶瓷封裝,提高鍍層質(zhì)量,陶瓷封裝中通常使用金屬漿料印制線路板作鍵合區(qū)、蓋板密封區(qū)。在這些材料的表面電鍍Ni、Au前采用等離子體清洗機(jī)可去除有機(jī)物鉆污,明顯提高鍍層質(zhì)量。
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