等離子清洗機(jī)去除半導(dǎo)體材料污染物

等離子清洗機(jī)能對(duì)各種高分子，橡膠，金屬，PCB電路板等材料進(jìn)行表面處理。光通信器件鍵合封裝前采用等離子體清洗機(jī)能增強(qiáng)推拉力強(qiáng)度

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)等。通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。離子清洗機(jī)能移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)，去除金屬材料表面的氧化物。例如玻璃光學(xué)鏡片通過(guò)借助等離子清洗機(jī)表面處理技術(shù)，利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定的真空負(fù)壓狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)變成活性高的氣體等離子體，氣體等離子能輕柔地沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗，從而在極短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)超清洗，從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物的超清洗。在一定條件下，樣品的表面性質(zhì)也會(huì)發(fā)生變化。

等離子清洗機(jī)的作用

還原氧化層：等離子清洗機(jī)有效改善親水性，移除光學(xué)元件等表面光阻物質(zhì)，去除金屬材料表面氧化物

表面粗糙度：等離子清洗機(jī)有效提高推拉力，用等離子清洗機(jī)清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠基片、高分子材料表面的修飾及改性。

等離子清洗機(jī)能將半導(dǎo)體材料表面有機(jī)污染物去除和表面活性增強(qiáng)，去除顆粒物：等離子清洗機(jī)有效提高附著力，涂覆鍍膜領(lǐng)域中采用等離了清洗機(jī)對(duì)玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面改性，使其活化，增強(qiáng)表面粘增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性，顯著提高涂覆鍍膜質(zhì)量