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等離子清洗機(jī)去膠改性,活化刻蝕,提高表面達(dá)因值,增強(qiáng)粘合附著力
等離子清洗機(jī)在IC半導(dǎo)體芯片封裝中去除鍵合區(qū)域的污染物,提高鍵合區(qū)表面化學(xué)能及浸潤(rùn)性,降低鍵合的失效率
等離子清洗機(jī)增強(qiáng)粘合力,鍵合力,去除有機(jī)污染物
等離子清洗機(jī)用于IC封裝工藝去除有機(jī)殘留物、微小顆粒污染源、薄氧化層等。在材料表面,等離子清洗機(jī)處理設(shè)備提高工件的表面活性,避免粘接脫層或虛焊。
等離子處理設(shè)備通過(guò)改變半導(dǎo)體芯片表面的化學(xué)性質(zhì),使其具有親水性或疏水性,從而控制封裝材料的潤(rùn)濕性和粘附性
等離子清洗機(jī)去除表面氧化層,潔凈鍵合區(qū)域表面并活化表面能,提高引線鍵合質(zhì)量。
基板上如果存有肉眼不可見(jiàn)的污染物,親水性就會(huì)不佳,不益于銀膠的鋪展和芯片的粘貼,而且也可能在手工刺片時(shí)造成芯片的損害。加入等離子清洗機(jī)的表面處理后,能形成清潔表面,還可以將基板表面粗化,從而實(shí)現(xiàn)親水性的提高,減小銀膠的使用量,節(jié)約成本,而且可以提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
引線鍵合前采用等離子體清洗機(jī)處理
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