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微波等離子體清洗機在封裝領域中的應用示例
微波等離子清洗在封裝工藝中作用
•防止包封分層
•提高焊線質量
•增加鍵合強度
•提高可靠性,尤其是有多I/O接口的高級封裝
微波等離子清洗機廣泛應用于:1.等離子表面活化/清洗; 2.等離子處理后粘合; 3. 等離子蝕刻/活化;4. 等離子去膠; 5. 等離子涂鍍(親水,疏水); 6. 增強邦定性;7.等離子涂覆; 8.等離子灰化和表面改性等場合。 小型等離子清洗機比超聲波更環(huán)保更高等級的清洗機(處理機),不需要清洗劑,對環(huán)境沒有任何污染,使用成本低廉,能提高產品檔次,提高產品質量,解決行業(yè)技術難題。
本公司不僅提供標準的等離子清洗機,且可根據用戶的需求進行不同的定制設計從而滿足客戶特定的生產環(huán)境和處理工藝需求。
半導體行業(yè)微波等離子清洗機應用:
灌裝-提高灌注物的粘合性
bond pad清潔-通過接合焊盤(bond pad)清潔改善絲焊
(1) 在SIP等離子工程中,為了除去芯片粘結后的污染成分,每次都要對芯片粘結部進行等離子清洗。
(2)在晶圓上進行凸點印刷之前經等離子清洗機處理后可改善無鉛和無助焊劑焊料的拉拔性,還能改善再流焊時焊料的蠕變性。
(3)用等離子清洗機可以改善晶圓的內面污染芯粘結特性。
(4)在裸晶圓上進行的粘結與灌封樹脂工程中,均使用等離子清洗機。
(5)用等離子清洗作為在銅配線電路中的鍵合的前處理。銅配線的鍵合時,功率不能過高,用等離子清洗機可以保證在低功率其鍵合強度。
(6)作為基底的鍍前處理,經等離子體處理而表面呈凸凹化,從而改善涂鍍性。
(7)隨著印制基板的多層化,其通孔加工后的殘渣可用O2等離子體刮洗 。
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