| 功能薄膜特性測試儀 型號：UKSY-5 | 貨號：ZH9392 |
| 產品簡介 本測試儀是多用途綜合測量裝置，開展半導體材料的電阻性能的測試。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀組成。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成，測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度 恒流源組成。非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。 測量范圍： 電阻范圍：1×106～1×1017Ω； 電 阻 率：0.001～200Ωcm 電 導 率：0.005～1000s/cm 可測晶片直徑： 200mmX200mm 探 針：碳化鎢或高速鋼 探針間距：1±0.01mm 針間緣電阻：≥1000MΩ 機械游移率：≤0.3% 本底真空度：≤10Pa 氣壓可控范圍：10～400Pa 襯底加熱 溫度：室溫～200℃ |  |
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