四探針電阻率測試儀產(chǎn)品介紹：
四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及標準設計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。
四探針電阻率測試儀功能特點：
1.配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以之幾的精度）適時監(jiān)測過程中的電流變化，使操作簡便，測量。
3.設有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。
4.流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（之五精度）的恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。
5.儀器采用觸點電阻低（＜5mΩ）、使用壽命長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10），在緣電阻、電流容量方面留有大的系數(shù)，提高了測試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦，使用軟件進行數(shù)據(jù)采集,實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7.可配電動測試架，自動上下運行，使測量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復性提高。
四探針電阻率測試儀參數(shù)：
電 壓 表：0—199.99mV
靈 敏 度：10μV
輸入阻抗：1000ΜΩ
基本誤差：±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
電 阻 率：10^-4—1.9×10⁴Ω·cm
方塊電阻：10^-3—1.9×10⁵Ω/□
電流量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA