產(chǎn)品分類品牌分類
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塞貝克系數(shù)電阻測(cè)試儀 先進(jìn)功能材料電測(cè)綜合測(cè)試系統(tǒng)- 絕緣電阻劣化(離子遷移)評(píng)估系統(tǒng) 儲(chǔ)能新材料電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng) 半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺(tái) 空間電荷測(cè)試系統(tǒng) 電容器溫度特性評(píng)估系統(tǒng) 高頻高壓絕緣電阻、介電 多通道極化裝置 鐵電分析儀 高壓功率放大器 絕緣電阻率測(cè)試儀 高低溫冷熱臺(tái)測(cè)試系統(tǒng) 50點(diǎn)耐壓測(cè)試儀 電壓擊穿測(cè)定儀 耐電弧試驗(yàn)儀 探針臺(tái) 漏電起痕試驗(yàn)儀 多通道介電與電阻測(cè)試系統(tǒng)
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激光測(cè)振儀 傳感器多功能綜合測(cè)試系統(tǒng) 先進(jìn)功能材料電測(cè)綜合測(cè)試系統(tǒng) 長(zhǎng)期耐腐蝕老化試驗(yàn)平臺(tái)- 高電場(chǎng)介電、損耗、漏電流測(cè)試系統(tǒng) 阻抗分析儀 鐵電綜合材料測(cè)試系統(tǒng) 鐵電分析儀 高壓功率放大器 D33壓電系數(shù)測(cè)試儀 高溫介電溫譜測(cè)試儀 熱釋電測(cè)試儀 TSDC熱刺激電流測(cè)試儀 高壓極化裝置 高低溫冷熱臺(tái) 簡(jiǎn)易探針臺(tái) 高溫四探針測(cè)試儀 多通道電流采集系統(tǒng) 高真空退火爐 電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng) 高溫管式爐測(cè)試儀 漆包線擊穿耐壓試驗(yàn)儀 電化學(xué)遷移測(cè)試系統(tǒng) 水平垂直燃燒測(cè)定機(jī) 陶瓷材料閃燒試驗(yàn)裝置 導(dǎo)通電評(píng)估系統(tǒng) 差熱分析儀 醫(yī)用接地電阻
激光測(cè)振儀與懸臂梁聯(lián)用技術(shù)在薄膜應(yīng)變及壓電系數(shù)測(cè)量中的應(yīng)用
激光測(cè)振儀與懸臂梁聯(lián)用技術(shù)在薄膜應(yīng)變及壓電系數(shù)測(cè)量中的應(yīng)用
一、技術(shù)背景與設(shè)備基礎(chǔ)
北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱"華測(cè)儀器")作為專注于材料電學(xué)性能檢測(cè)的高新技術(shù)企業(yè),其功能材料電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)為薄膜測(cè)量提供了高精度平臺(tái)。在壓電薄膜研究中,激光測(cè)振儀與懸臂梁的配合測(cè)量方案,可實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜應(yīng)變及壓電系數(shù)E31、D31、E33的精準(zhǔn)標(biāo)定,為傳感器、儲(chǔ)能器件研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
二、測(cè)量原理與方法
1、懸臂梁應(yīng)變測(cè)量體系
采用定制化懸臂梁裝置,通過(guò)施加機(jī)械載荷誘導(dǎo)薄膜產(chǎn)生應(yīng)變。華測(cè)儀器的極化裝置與高壓放大器可精確控制加載條件,配合激光干涉儀實(shí)時(shí)捕捉微米級(jí)形變數(shù)據(jù),應(yīng)變靈敏度強(qiáng)。
華測(cè)儀器薄膜懸臂梁測(cè)試夾具
2、壓電系數(shù)測(cè)量技術(shù)路徑
橫向壓電系數(shù)E31/D31:通過(guò)測(cè)量懸臂梁彎曲時(shí)薄膜表面電荷密度(D31)與機(jī)械應(yīng)變(S1)的對(duì)應(yīng)關(guān)系,結(jié)合公式E31=ΔD3/ΔS1實(shí)現(xiàn)計(jì)算縱向壓電系數(shù)E33:利用垂直方向極化裝置施加電場(chǎng),通過(guò)激光干涉儀測(cè)量厚度方向應(yīng)變響應(yīng),依據(jù)E33=ΔS3/ΔE3進(jìn)行推導(dǎo)。
三、系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)
激光測(cè)振儀配合高低溫冷熱臺(tái)對(duì)壓電器件測(cè)量
1.連接到Huace FE-3000鐵電分析儀上的激光測(cè)振儀可精確測(cè)量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電系數(shù);
2.鐵電測(cè)試系統(tǒng)與激光測(cè)振儀相結(jié)合,在D33振動(dòng)過(guò)程中可以達(dá)到0.2pA(0.02nm)分辨率;
3.高低溫冷熱臺(tái)可以添加到薄膜壓電測(cè)試套件中,可以在單個(gè)樣品在 -196℃至 600℃℃的溫度中進(jìn)行測(cè)量。
激光測(cè)振儀配合懸臂梁測(cè)量對(duì)薄膜應(yīng)變測(cè)量
激光測(cè)振儀與薄膜壓電測(cè)試(E31)相結(jié)合,可測(cè)量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31和E33)。 應(yīng)用場(chǎng)景:壓電疲勞、壓電老化、過(guò)程監(jiān)控。
華測(cè)儀器測(cè)試夾具