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[供應(yīng)]多通道質(zhì)量控制高真空管式爐系統(tǒng) 返回列表頁
貨物所在地:四川成都市
更新時間:2025-01-15 15:33:58
有效期:2025年1月15日 -- 2025年7月18日
已獲點擊:236
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產(chǎn)品特點:
雖環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性。
因此,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
技術(shù)參數(shù):
開啟式管式爐
工作溫度:1200℃
爐管尺寸:Φ50,Φ60,Φ80都可用
溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
加熱區(qū)長度:440mm
恒溫區(qū)長度:150mm
功率:AC 220V 4KW
等離子射頻電源
輸出功率:50-500W大可調(diào)±1%的穩(wěn)定性
RF頻率:2-150MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào)
噪聲:≤55DB
冷卻:空氣冷卻
輸入功率:1KW AC 220V
真空泵和閥門
采用KF25系列波紋管和精密球閥連接
真空度可達(dá)10-3torr
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
質(zhì)量流量計
內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量
進(jìn)氣口:采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
外型尺寸:
爐體:550*380*520mm
供氣及真空系統(tǒng):600*600*597mm
凈重:120KG
產(chǎn)品證書:CE認(rèn)證
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