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擴(kuò)散氧化退火爐爐體鎢絲的作用和原理
閱讀:20 發(fā)布時(shí)間:2025-4-24擴(kuò)散氧化退火爐是一種用于半導(dǎo)體器件制造的設(shè)備,其主要作用是在高溫下進(jìn)行氧化和退火等處理,以改善半導(dǎo)體器件的性能。
在擴(kuò)散氧化退火爐中,半導(dǎo)體器件通過(guò)輸送系統(tǒng)進(jìn)入爐體中,在高溫和特定氣氛下進(jìn)行處理。這些處理包括氧化、退火、摻雜等多個(gè)過(guò)程,可以改善半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
二、 爐體中的鎢絲
爐體中的鎢絲是擴(kuò)散氧化退火爐的一個(gè)關(guān)鍵組成部分。在進(jìn)行高溫處理時(shí),鎢絲作為熱源,提供必要的能量以確保處理溫度的均勻性和一致性。
此外,鎢絲還可以起到調(diào)控氣氛的作用。在處理過(guò)程中,通過(guò)控制氣氛中的成分和壓力,可以對(duì)處理過(guò)程進(jìn)行精確的控制和調(diào)整。鎢絲作為爐體中的一個(gè)組成部分,需要具備良好的耐高溫性和穩(wěn)定性,以確保處理的精度和可靠性。
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