德國(guó)inficon高溫壓力計(jì)CDG160D

 

inficon高溫壓力計(jì)CDG160D功能簡(jiǎn)介：

INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 真空計(jì)溫度控制在 160 °C，具有性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的對(duì)數(shù)壓力信號(hào)。INFICO電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICOCDG 壓力傳感器品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

inficon高溫壓力計(jì)CDG160D優(yōu)點(diǎn)

2 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

2 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

2 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

2 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)

2 兩年保修服務(wù)、加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命

2 信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

2 合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

inficon高溫壓力計(jì)CDG160D典型應(yīng)用

ü ECT、CTD、PVD和其他半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝

ü 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護(hù)

 

inficon高溫壓力計(jì)CDG160D規(guī)格

? 準(zhǔn)確性閱讀%:0.4

? 精度%：0.003

? 輸出信號(hào)(模擬)V (dc)：0.. +10

? 響應(yīng)時(shí)間：30ms

暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )