ICP的形成就是工作氣體的電離過程。為了形成穩(wěn)定的ICP炬焰需要四個條件：   高頻高強度的電磁場  ，工作氣體 ，維持氣體穩(wěn)定放電的石英矩管 ，電子離子源     
矩管是由直徑20mm的三重同心石英管構成。石英外管和中間管之間同10~20L/min的氬氣，其作用是作為工作氣體形成等離子體并冷卻石英矩管，稱為等離子體氣或冷卻氣。中間管和中心管通入05~1.5L/min氬氣，稱為輔助氣，用以輔助等離子體的形成。中心管用于導入試樣氣溶膠。石英矩管外套有高頻感應線圈，感應圈一般為2~4圈空心銅管。
         形成ICP焰炬通稱為點火。點火分三步：*步是向外管及中管通入等離子體和輔助氣，此時中心管不通氣體，在矩管中建立氬氣氣氛；第二部向感應線圈接入高頻電源，一般頻率為27~40MHz，電源功率為1~1.5KW，此時線圈內有高頻電流及由它產生的高頻電磁場。由于在室溫下干燥的氬氣并不導電，不會在氬氣中產生感應電流，必須用其他方法使氬氣局部電離成為導體。高頻電磁場才能使它進一步電離形成等離子體。使氬氣部分電離的方法有兩種，一種是石墨棒加熱法，目前多用能產生放電的高壓Tesla線圈，在管內氬氣流中形成放電，使氬氣局部電離為導電體，并進而產生感應電流。感應電流加熱氣體，形成火炬狀 ICP炬焰。