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角分辨散射儀的應(yīng)用特點(diǎn)解析

閱讀：1162 發(fā)布時(shí)間：2024-3-28

　　角分辨散射儀是一種重要的分析儀器，它可以用于研究材料的晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌和界面結(jié)構(gòu)等方面?？梢杂糜谘芯拷饘俦砻娴慕Y(jié)構(gòu)和磁性，以及納米材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)等。此外，還可以用于研究生物大分子的結(jié)構(gòu)和功能，例如蛋白質(zhì)、核酸等?？梢蕴峁悠繁砻嫘蚊?、結(jié)構(gòu)和成分等信息，對(duì)于材料和生物大分子的研究具有重要的意義。利用入射的高能電子或中子束與材料中原子核或電子的相互作用，通過測(cè)量散射電子或中子的角度分布和能量分布來確定材料的結(jié)構(gòu)信息。

　　使用光學(xué)的辦法來測(cè)量光刻膠圖形的線寬等幾何尺寸的儀器稱為散射儀。散射儀(scattermetry)的工作原理是：一束光入射在晶圓表面，晶圓表面的光刻膠圖形對(duì)入射光產(chǎn)生散射和衍射，這些含有表面結(jié)構(gòu)信息的光被探測(cè)儀接收。對(duì)探測(cè)儀器接收的信號(hào)做分析，得到晶圓表面光刻膠圖形的三維尺寸。

　　角分辨散射測(cè)量系統(tǒng)-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)簡(jiǎn)易型散射儀是一種小型的，便于移動(dòng)的光學(xué)傳感器。它以散射測(cè)量為基礎(chǔ)，用于測(cè)量從微米級(jí)到亞納米級(jí)的表面粗糙程度。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。

　　特點(diǎn)：

　　• 體積小，速度快: 測(cè)試時(shí)間<1s

　　• 非接觸式2D/3D測(cè)量

　　• 高靈敏度/低噪聲：Rq<0.5nmt

　　• 高動(dòng)態(tài)范圍≧1013

　　• 可與輪廓儀直接相連并比較測(cè)量結(jié)果

角分辨散射儀的應(yīng)用特點(diǎn)解析

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