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POLOS® SPIN150X旋涂機 PTFE 標準版
  • POLOS® SPIN150X旋涂機 PTFE 標準版
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貨物所在地:湖北武漢市

更新時間:2025-05-28 17:00:17

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POLOS® SPIN150X旋涂機 PTFE 標準版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質量的基材旋涂機,由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。
可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X旋涂機 PTFE 標準版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質量的基材旋涂機,由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。

可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。


POLOS® SPIN150X旋涂機 PTFE 標準版

腔室規(guī)格:

- 最大支持6英寸(150毫米)晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸(100毫米)基板

- 材料: PTFE


硬件規(guī)格:

- 液體過濾器

- 特殊的外殼和排水口設計,可在現(xiàn)場切換臺式和內(nèi)嵌式型號

- 用于注射器或分配噴嘴的中心注射座

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

- 大型(可拆卸)觸摸顯示屏

- USB 端口,用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件更新

- 3 個輸入/輸出端口


驅動裝置規(guī)格:

- 間接無刷驅動裝置

- 最高 12,000 RPM(取決于基體/卡盤)

- 高加速度和高精度

- 加速/減速 1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉和Puddle選項


隨附旋涂儀卡盤和適配器

- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.

- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供










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