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POLOS® SPIN150X旋涂機 NPP 高級版
  • POLOS® SPIN150X旋涂機 NPP 高級版
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貨物所在地:湖北武漢市

更新時間:2025-05-28 17:00:53

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POLOS® SPIN150X旋涂機 NPP 高級版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機,由NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。
可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X旋涂機 NPP 高級版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機,由NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。

可以同時實現(xiàn)臺式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手動或自動(可選)化學藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。


POLOS® SPIN150X旋涂機 NPP 高級版

腔室規(guī)格:

- 最大支持6英寸(150毫米)晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸(100毫米)基板

- 材質(zhì): 天然聚丙烯(NPP)


硬件規(guī)格:

- 液體過濾器

- 具有特殊的外殼和排水設計,可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.

- 配備中心注射架,用于安裝注射器或分配噴嘴

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

-大型(可拆卸)觸摸顯示屏

- USB 端口,用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進行軟件更新

- 8 I/O 端口

-能夠定義電機歸零位置,便于在機器人控制/自動化環(huán)境中進行集成

-通過集成步進電機實現(xiàn)自動開蓋和關蓋.


驅(qū)動單元規(guī)格:

- 采用間接無刷驅(qū)動單元

- 最高轉(zhuǎn)速可達12,000 RPM(取決于基板/卡盤)

- 具有高加速度和高精度

- 加/減速范圍為1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項


隨附旋涂儀卡盤和適配器:

-隨附1 x A-V36-S45-PP-HD, 真空卡盤

-隨附1 x D-V10-S50-PP-HD, 碎片適配器

-FCA SPS-Europe, The Netherlands










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