SMC面向半導(dǎo)體行業(yè)推出的無氟利昂（CO?冷媒）溫控器，以環(huán)保性、高效性、穩(wěn)定性和智能性為核心優(yōu)勢，契合行業(yè)對環(huán)保與高精度溫控的雙重需求。

應(yīng)用優(yōu)勢：

合規(guī)性與成本優(yōu)化

零氟利昂管理：無需回收或處理費(fèi)用，降低合規(guī)成本。

減少碳足跡：GWP值較傳統(tǒng)冷媒降低99%以上，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。

生產(chǎn)效率提升

高穩(wěn)定性溫控：減少因溫度波動導(dǎo)致的良率損失，提升生產(chǎn)效率。

快速響應(yīng)能力：變頻泵與智能控制結(jié)合，縮短工藝切換時間。

長期可靠性

無泄漏設(shè)計(jì)：集液罐與泵一體化設(shè)計(jì)，避免循環(huán)液外部泄漏。

長壽命部件：采用耐腐蝕材料與高精度制造工藝，延長設(shè)備使用壽命。