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產(chǎn)品簡介
共聚焦三維表面形貌儀能夠在同一測試平臺(tái)上運(yùn)行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。
詳細(xì)介紹
形貌儀特點(diǎn)：
共聚焦三維表面形貌儀具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng) 目 簡 述 | 參數(shù)說明 |
共聚焦三維表面 |
可 快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。 具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制（0.1%- *) 應(yīng)用于透明層/薄膜。 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。 長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。 *的穩(wěn)定性。
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共聚焦三維表面 |