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修復(fù)雙重圖形誤差的途徑.切割和縫合
閱讀：572 發(fā)布時(shí)間：2018-9-4
雙重圖形（DP）是指將單層IC版圖分解成兩個(gè)光罩，在此過(guò)程中，有許多多邊形配置可能會(huì)導(dǎo)致違反DP設(shè)計(jì)規(guī)則。其中一些錯(cuò)誤可藉由增加多邊形之間的間距進(jìn)行修復(fù)。然而有些DP錯(cuò)誤，像奇數(shù)圈 (odd cycle)的誤差，可能難以修復(fù)。如果你的版圖通過(guò)一種類似手術(shù)的修正方式，在關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)進(jìn)行切割來(lái)解決DP錯(cuò)誤，那么就會(huì)變得非常簡(jiǎn)單。
這種修正技術(shù)稱為“切割和縫合”(cutting and stitching)，通常只將其稱為縫合。讓我們來(lái)看一下它的工作原理。圖中給出了一對(duì)無(wú)法正確分解成兩個(gè)光罩的典型版圖配置。
左邊上面一行顯示了一個(gè)與其本身有小間距問(wèn)題的單個(gè)多邊形。換言之，被高亮顯示的小間距在多邊形的邊緣之間是不允許的，除非多邊形的邊屬于不同光罩。因?yàn)樗猩婕靶￠g距的多邊形的邊均位于同一多邊形上，所以其必須位于相同的光罩上。修正方案是增加這些間距，這就需要更多的設(shè)計(jì)區(qū)域。左下行顯示了一個(gè)奇數(shù)圈錯(cuò)誤。這三個(gè)多邊形無(wú)法拆解成兩個(gè)光罩，因?yàn)橛枚龝r(shí)，一定會(huì)存在余數(shù)。