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雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種

2018-3-12　　閱讀(1763)

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹單頻激光干涉儀；

     從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹雙頻激光干涉儀；

      在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。

     經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹激光干涉儀的注意事項；

、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。
、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。
、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。
、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。
、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。
、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

技術參數(shù)；

標準型：
線性：
測量范圍：40米（1D可選80米）
線性分辨力：
偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
zui大范圍：800角秒
滾動角精度：1.0角秒
直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
直線度zui大范圍：
垂直度精度：1角秒
溫度精度：0.2攝氏度

 

 



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