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島津應(yīng)用:光學元件上微小異物的測定

閱讀:961        發(fā)布時間:2017-2-7

隨著電氣電子設(shè)備的小型化和多功能化,儀器的零部件也不斷微型化,因此超小型高性能的半導(dǎo)體零部件和傳感器等光學元件被廣泛應(yīng)用。在微型化設(shè)備和零部件中,微米級的微小異物可能會導(dǎo)致儀器發(fā)生運行故障。因此為了防止此類問題的發(fā)生,查明異物來源極其重要。

 

島津公司的異物自動分析系統(tǒng)(紅外顯微鏡)AIM-9000 采用將微小部分作為測定目標的光學設(shè)計,可以在短時間內(nèi)獲得微米級異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統(tǒng)對光學元件表面附著的約10μm微小異物進行測定的示例。

 

島津異物自動分析系統(tǒng)(IRTracer-100 和紅外顯微鏡AIM-9000

 

 

了解詳情,敬請點擊《光學元件上微小異物的測定采用紅外顯微鏡AIM-9000 進行掃描和識別

 

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