導(dǎo)讀

近年來，隨著我國材料、能源、微電子等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，表面科學(xué)已成為活躍的研究領(lǐng)域之一。X射線光電子能譜（XPS）技術(shù)作為一種常見的表面分析技術(shù)，在鑒定材料表面的化學(xué)性質(zhì)與組成方面具備獨特的優(yōu)勢。舉個例子，金屬表面通常都存在氧化膜，氧化膜的厚度與分布，隨氧化時間與環(huán)境而不同，探明氧化膜的情況對了解金屬表面狀態(tài)至關(guān)重要。XPS深度剖析功能可以獲得樣品更深層次的信息，使用戶可以對樣品有更全面的了解。

島津ESCApe軟件可以很方便地對深度剖析數(shù)據(jù)進行分析，得到元素和化學(xué)態(tài)隨深度的分布情況。今天，我們以案例的形式，介紹一個Ta2O5薄膜樣品（在金屬Ta表面有一定厚度的氧化膜），通過單氬離子進行15×20 s的刻蝕（單次刻蝕時間20 s，總刻蝕次數(shù)15次），如何通過一鍵模板套用，深度剖析分析元素隨深度的變化，如何進行批量分析數(shù)據(jù)處理，一起來看看分析過程吧?。ㄎ哪└酵暾僮饕曨l哦~）

方法詳情

批量荷電校正

批量添加本底

批量擬合

定量計算

數(shù)據(jù)導(dǎo)出

下面視頻記錄了本次案例的完整操作過程，歡迎觀看！

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