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PRIOR的顯微鏡納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)

壓電聚焦器件NanoScan OP400，400μm閉環(huán)，0.7nm定位精度

PRIOR為用戶提供特別的納米物鏡自動(dòng)聚焦臺(tái)NanoScan OP400，為用戶實(shí)現(xiàn)物鏡的納米壓電Z軸定位提供了硬件基礎(chǔ)，該設(shè)備適配多種顯微鏡型號(hào)及物鏡規(guī)格，通過NPC-D-6110單軸控制器實(shí)現(xiàn)操控，且允許用戶二次開發(fā)。NanoScan OP400可在150g負(fù)載下，在10ms內(nèi)完成小于500nm步進(jìn)的位移量，快速的穩(wěn)定時(shí)間可以極大的減少在用戶的實(shí)驗(yàn)過程中所產(chǎn)生的漂移量，即便是更大的負(fù)載，該系統(tǒng)仍可以保持較高的穩(wěn)定時(shí)間。且壓電聚焦器件NanoScan OP400適用于正置或倒置顯微鏡，更適配用戶的使用需求。

壓電聚焦器件NanoScan OP400系統(tǒng)具備更快的的步進(jìn)及穩(wěn)定時(shí)間。該系統(tǒng)搭載特別的機(jī)械設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)并集成電容式反饋傳感器，這使得壓電聚焦OP400系統(tǒng)具備精確的定位精度以及分辨率。該系統(tǒng)與大多數(shù)顯微鏡和物鏡相兼容，具有用戶可配置的設(shè)置，可針對(duì)不同的物鏡尺寸，重量和性能需求進(jìn)行優(yōu)化。通過不同的轉(zhuǎn)接環(huán)，使壓電聚焦器件NanoScan OP400可以安全可靠的搭載顯微物鏡。

NanoScan電動(dòng)納米Z軸規(guī)格：

壓電聚焦OP400特點(diǎn)：

-400μm閉環(huán)行程范圍（450μm開環(huán)范圍）

-電容定位傳感器提供亞納米定位分辨率和重復(fù)性

-不銹鋼材料，提供更大的機(jī)械剛度（更快的速度）和溫度穩(wěn)定性（更低的漂移）

-平臺(tái)是彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。無摩擦撓曲件設(shè)計(jì)用于提供高剛度并大幅度地減少離軸運(yùn)動(dòng)，從而提供高可重復(fù)性和更快的循環(huán)時(shí)間。

-適用于立式和倒立應(yīng)用。

-具有內(nèi)置平臺(tái)校準(zhǔn)的連接器提供即插即用的電子設(shè)備，可以互換使用，從而大幅度地減少了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間。

-即使在較大的目標(biāo)負(fù)載下，也可以快速建立時(shí)間。

-經(jīng)過測試，可以運(yùn)行超過1000萬個(gè)完整范圍的周期。

NanoScan電動(dòng)納米Z軸應(yīng)用：

-光學(xué)切片可產(chǎn)生3D圖像

-自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，用于延時(shí)成像

-高內(nèi)涵篩選

-表面分析

-晶圓檢查

-掃描干涉儀

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