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OP800壓電納米物鏡聚焦臺(tái)由于功能性也可以叫做電動(dòng)Z軸，是英國(guó)Prior旗下子公司Queenstage生產(chǎn)的物鏡對(duì)焦模塊，型號(hào)為NanoScan OP800。NanoScan OP800特殊的機(jī)械設(shè)計(jì)和集成的電容反饋傳感器，使該產(chǎn)品具有定位精度和分辨率的特點(diǎn)，可提供在納米物鏡定位中較快的步進(jìn)與穩(wěn)定時(shí)間。

OP800納米物鏡掃描臺(tái)的特點(diǎn)：

-800um閉環(huán)行程范圍(950um開環(huán)行程范圍)

-在較大重量下也能快速到響應(yīng)

-電容式定位傳感器為此納米物鏡定位器提供低納米級(jí)定位和最佳分辨率穩(wěn)定性(低漂移)和可重復(fù)性

-堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使OP800納米壓電物鏡定位臺(tái) 可以在常規(guī)配置下承載重物

-使用不銹鋼材料，提供更大的機(jī)械剛度（更快的速度）和溫度穩(wěn)定性（更低的漂移）

-可用于正置顯微鏡和倒置顯微鏡

-平臺(tái)是彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。無摩擦撓曲件設(shè)計(jì)用于提供高剛度并大程度地減少離軸運(yùn)動(dòng)，從而提供高可重復(fù)性和更快的循環(huán)時(shí)間

-經(jīng)過測(cè)試，可以運(yùn)行超過1000萬次完整范圍的周期。

-具有內(nèi)置級(jí)校準(zhǔn)的連接器提供可互換的即插即用電子器件，縮短了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間

-自動(dòng)在行程范圍內(nèi)進(jìn)行中心校準(zhǔn)，確保設(shè)備在所有適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下進(jìn)行全范圍掃描

OP800壓電納米物鏡聚焦臺(tái)的主要應(yīng)用：

-用于光學(xué)切片生成3D圖像

-用于延時(shí)成像系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦模塊

-高內(nèi)涵篩選

-表面分析

-晶圓檢測(cè)

-掃描干涉儀

-多光子顯微鏡

英國(guó)Prior的物鏡對(duì)焦模塊

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