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晶圓接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)試視頻及效果-晟鼎精密儀器
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x采用先進(jìn)的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶更好的對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡(jiǎn)單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測(cè)測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓（Wafer）工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓（Wafers）表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析，從而評(píng)估粘性，潔凈度及鍍膜。采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便和新的基于Windows標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件，以創(chuàng)建一個(gè)即容又容易使用的接觸角測(cè)量?jī)x系統(tǒng)。注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載，消除了對(duì)晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。用于晶圓表面分析，同時(shí)也可用于其它需要測(cè)量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī)及測(cè)試視頻的操作視頻及圖片：
（1）主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以佳狀態(tài)運(yùn)行；
（2）成像部分使用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯及無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭確保成像效果。
（3）工業(yè)級(jí)可調(diào)LED單波長(zhǎng)冷光源系統(tǒng)，成像更清晰
（4）自動(dòng)位移平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)Y、Z自動(dòng)定位測(cè)量，定點(diǎn)地位更，測(cè)量效率更高
規(guī)格：
主機(jī)外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）*600mm(寬)* 670mm(高) 主機(jī)凈重：55KG
工作臺(tái)面尺寸：420mm*420mm
工作臺(tái)移動(dòng)：自動(dòng)，行程160mm，精度0.01mm；上下移動(dòng) 手動(dòng)，行程20mm，精度0.01mm
進(jìn)樣器移動(dòng)：自動(dòng)上下60mm（自動(dòng)）; 左右30mm
工業(yè)鏡頭：前后移動(dòng)30mm（微調(diào)3mm），0.7X *-4.5X連續(xù)變倍變焦顯微鏡
CCD：SONY*高速工業(yè)級(jí)芯片； 鏡頭角度可調(diào)試：仰視、平視、俯視多視角觀察
光源：LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源；使用壽命達(dá)貳萬(wàn)伍仟小時(shí)以上
電源及功率：220V / 60HZ
晶圓產(chǎn)品處理前WORD報(bào)告及測(cè)試圖片：我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試，平均角度72.04度。
檢測(cè)單位 | SINDIN | 試驗(yàn)日期 | 2018-10-09 |
操作人員 | 魏工 | 打印時(shí)間 | 14:36:02 |
固體試樣 | 晶圓 | 液體試樣 | 水 |
溫度(℃) | 25 | 濕度(％) | 60 |
產(chǎn)品名稱 | 物料號(hào) | 12寸晶圓 | |
備注 | 供應(yīng)商名稱 | 視涯 | |
試驗(yàn)要求 | 未清洗前晶圓測(cè)試 | 大角度 | 82.38 |
小角度 | 67.48 | 平均角度 | 72.04 |
晶圓產(chǎn)品處理后WORD報(bào)告及測(cè)試圖片：我們對(duì)樣品進(jìn)行十個(gè)點(diǎn)的測(cè)試后，再用等離子清洗機(jī)處理，平均角度16.58度。
檢測(cè)單位 | SINDIN | 試驗(yàn)日期 | 2018-10-09 |
操作人員 | 魏工 | 打印時(shí)間 | 15:36:20 |
固體試樣 | 晶圓 | 液體試樣 | 水 |
溫度(℃) | 25 | 濕度(％) | 60 |
產(chǎn)品名稱 | 物料號(hào) | 12寸晶圓 | |
備注 | 供應(yīng)商名稱 | 視涯 | |
試驗(yàn)要求 | 未清洗前晶圓測(cè)試 | 大角度 | 25.65 |
小角度 | 9.55 | 平均角度 | 16.58 |
| 標(biāo)樣校檢報(bào)告： | ||||||||
儀器檢驗(yàn)信息 | 儀器名稱： | 接觸角測(cè)量?jī)x | 檢驗(yàn)時(shí)間： | 2018.10.08 | ||||
儀器型號(hào)： | SDC-500 | 溫 度： | 27 | |||||
儀器編號(hào): | SDCA1810001 | 濕 度： | 68% | |||||
測(cè)試方法： | 橢圓法及圓環(huán)法 基于大于等于20°使用橢圓法檢測(cè) 小于20°用圓環(huán)法檢測(cè) | |||||||
校正信息 | 精度： | ±1° | ||||||
校準(zhǔn)度數(shù)： | 3° 60° 120° 115° | |||||||
校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)： | 標(biāo)樣 ---- 含德國(guó)TUV認(rèn)證的檢測(cè)報(bào)告 | |||||||
圓弧3° | 圓弧60° | |||||||
序號(hào) | 標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°） | 檢測(cè)數(shù)據(jù)（°） | 誤差（°） | 序號(hào) | 標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°） | 檢測(cè)數(shù)據(jù)（°） | 誤差（°） | |
1 | 3 | 2.876 | 0.124 | 1 | 60 | 59.920 | 0.080 | |
2 | 3 | 3.101 | 0.101 | 2 | 60 | 60.000 | 0.000 | |
3 | 3 | 3.121 | 0.121 | 3 | 60 | 60.000 | 0.000 | |
4 | 3 | 3.105 | 0.105 | 4 | 60 | 59.928 | 0.072 | |
5 | 3 | 2.839 | 0.161 | 5 | 60 | 60.652 | 0.652 | |
圓弧120° | 橢圓115° | |||||||
序號(hào) | 標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°） | 檢測(cè)數(shù)據(jù)（°） | 誤差（°） | 序號(hào) | 標(biāo)樣數(shù)據(jù)（°） | 檢測(cè)數(shù)據(jù)（°） | 誤差（°） | |
1 | 120 | 120.100 | 0.100 | 1 | 115 | 115.146 | 0.146 | |
2 | 120 | 120.082 | 0.082 | 2 | 115 | 114.910 | 0.090 | |
3 | 120 | 120.000 | 0.000 | 3 | 115 | 115.120 | 0.120 | |
4 | 120 | 120.170 | 0.170 | 4 | 115 | 115.027 | 0.027 | |
5 | 120 | 119.875 | 0.125 | 5 | 115 | 115.159 | 0.159 | |
測(cè)試平臺(tái)移動(dòng)確認(rèn)： | 合格 | 滴液精度：0.1μL | 合格 | |
測(cè)量范圍：0-180° | 合格 | 測(cè)量軟件： | 合格 | |
測(cè)量精度：±0.1° | 合格 | 測(cè)量重復(fù)性精度：±1° | 合格 | |
mapping功能 | 合格 | 外觀部件： | 合格 | |
輸出測(cè)量報(bào)告功能 | 合格 | 檢測(cè)數(shù)據(jù)： | 合格 | |
綜合判定：合格
校檢單位：東莞市晟鼎精密儀器有限公司
效驗(yàn)人員：趙衛(wèi) 主管：張新飛
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晶圓系列接觸角測(cè)量?jī)x對(duì)于工藝的表面涂覆評(píng)估；
表面污染物檢測(cè)；
表面親疏性的研究；
表面潤(rùn)濕性能的判斷；
涂覆均勻性檢測(cè)；
涂覆質(zhì)量評(píng)估；
表面清潔度檢測(cè)；
研究粘附性、潤(rùn)濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理；
半導(dǎo)體晶片、硬盤、 平板顯示器和生物材料等表面涂層的吸收研究。