晟鼎微波等離子在半導(dǎo)體去膠的應(yīng)用(二)
前情提示:何為半導(dǎo)體晶圓plasma除膠?
半導(dǎo)體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結(jié)合能力。
除膠之外,微波等離子還有什么應(yīng)用?
· FC封裝微波等離子處理
· 金屬鍵合前處理
· 晶圓表面活化
技術(shù)壁壘高,危機和機遇并存
· 技術(shù)壁壘較高,美、日、韓品牌形成壟斷
· 絕大部分品牌外購微波半導(dǎo)體等離子發(fā)生器
· 價格昂貴
· 交付周期超過半年
· 服務(wù)無法及時響應(yīng)
sindin自主研發(fā) 掌控核心技術(shù)
· 國內(nèi)自有自主研發(fā)微波半導(dǎo)體去膠發(fā)生器技術(shù);
· 磁流體旋轉(zhuǎn)架,保證處理效果均勻;
· 微波無放電電極,高效均勻,保證刻蝕率;
· 低溫等離子體,避免產(chǎn)生熱損傷;
· 自偏壓要求低,微波結(jié)和磁路可以兼容。
技術(shù)+服務(wù)+性價比 實現(xiàn)國產(chǎn)替代
=技術(shù)保障=
· 自有微波半導(dǎo)體去膠發(fā)生器技術(shù),并可提供雙電源技術(shù)(MW+Bias RF)解決客制化問題。
=服務(wù)保障=
研發(fā)實力
· 專業(yè)的半導(dǎo)體研發(fā)團隊,并擁有多位十五年以上半導(dǎo)體從業(yè)經(jīng)驗的高級工程師。
· 華南理工大學(xué)等離子技術(shù)聯(lián)合實驗室,多位教授擔(dān)任項目技術(shù)顧問;
· 四川大學(xué)半導(dǎo)體項目戰(zhàn)略合作伙伴;
一站式服務(wù)
· 銷售、技術(shù)、售后項目組一站式服務(wù);
· 專業(yè)有素的售后服務(wù)團隊。
=價格優(yōu)勢=
· 降本30%以上,性價比高,產(chǎn)品*符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
效果是檢驗產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)
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