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首頁 >> 技術文章 >> 中國電子行業(yè)超純水國家標準
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電子行業(yè)對超純水的要求:
電阻率MΩ.cm(25℃) 18以上(95%時間)不低于17 15(95%時間)不低于13
硅≤μg/l 2 10
>1μM微粒數≤個/ml 0.1 5
細菌個數≤個/ml 0.01 0.1
銅≤μg/l 0.2 1
鋅≤μg/l 0.2 1
鎳≤μg/l 0.1 1
鈉≤μg/l 0.5 2
鉀≤μg/l 0.5 2
氯≤μg/l 1 1
硝酸根≤μg/l 1 1
磷酸根≤μg/l 1 1
硫酸根≤μg/l 1 1
總有機碳≤μg/l 20 100
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