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電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測
  • 電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測
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貨物所在地:上海上海市

地: 中國制造

更新時間:2025-03-23 17:18:41

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電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測是保障超純水(UPW)品質(zhì)的核心設(shè)備,主要用于實時監(jiān)測水中硅酸根離子(SiO?²?)的痕量殘留,防止硅污染導(dǎo)致的芯片良率下降,其檢測下限可至0~200μg/L,精度達±2%FS,并支持至多6通道檢測,通過實時硅離子數(shù)據(jù)反饋,可聯(lián)動水處理系統(tǒng)動態(tài)調(diào)整反滲透(RO)和離子交換工藝,確保硅含量≤0.1mg/L。

電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測

儀器介紹

XT-SiO32-型在線硅酸根分析儀是一種基于光電比色法技術(shù)的智能水質(zhì)監(jiān)測儀器,可用于實時監(jiān)測水體中硅酸根離子(SiO?2?或溶解態(tài)SiO?)的濃度,主要應(yīng)用于電力與能源行業(yè)、化工與工業(yè)水處理、電子半導(dǎo)體與新能源行業(yè)等領(lǐng)域。具體包括監(jiān)測電廠中鍋爐給水、蒸汽冷凝水中的硅酸根含量、石化冶金廠循環(huán)冷卻水硅含量監(jiān)控、半導(dǎo)體超純水的硅含量檢測中。


技術(shù)特點

采用鼓氣式液壓加藥方式,可實現(xiàn)精確計量,測量誤差≤±2%FS;

冷光源分光測量,延長了光源的使用壽命;

支持自動校準(zhǔn)、自動清洗、自動數(shù)據(jù)存儲及多通道檢測,減少人工干預(yù);

無需預(yù)處理樣品,適合24h連續(xù)在線監(jiān)測;

隔離的4~20mA電流輸出,通訊接口可選擇RS-485,便于接入自動化控制系統(tǒng);

電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測程序設(shè)計簡單,操作界面清晰,保證用戶能直接上手操作。


典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與電子制造

超純水監(jiān)測

超純水系統(tǒng)中硅污染控制,硅表用于控制超純水的硅含量(≤0.1mg/L),保障芯片生產(chǎn)用水純度,避免硅污染影響芯片良率。


技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號:XT-SiO32-

測量范圍:0-200ug/L/ppb或0-2000ug/L/ppb

顯示方式:彩色液晶屏顯示,耐溫至80℃不變黑

精 確 度:±2%FS

重 復(fù) 性:不大于1%

穩(wěn) 定 性:基線漂移:使用空白校準(zhǔn),不影響準(zhǔn)確度

化學(xué)漂移:不大于1%讀數(shù)/月(視試劑穩(wěn)定性而異)

試劑種類:3種

溫補范圍:0~60℃

運行條件:流量100—300mL/min,溫度5~50℃,壓力14Kpa,水樣不大于5微米(無膠狀物,無油脂)

環(huán)境溫度:0-45℃,85%RH不結(jié)露

繼 電 器:標(biāo)配2組,可擴展6組,常開觸點

電流輸出:4~20mA輸出

數(shù)字輸出:RS-485數(shù)字通訊

供電電源:AC220V,50HZ

安裝方式:面板開孔/壁掛安裝


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