電鏡和其它精密儀器對(duì)環(huán)境震動(dòng)要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動(dòng)（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動(dòng)＜12微米.。20Hz以下的低頻震動(dòng)，對(duì)電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標(biāo)，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。

普通掃描電子顯微鏡（SEM）當(dāng)安置到樓房高層（2層以上），或置于有強(qiáng)震動(dòng)的場地時(shí)（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進(jìn)行。而必須使用震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái)。

場發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對(duì)震動(dòng)要求更高。即便安裝在一樓，也都不能滿足要求。一般都要求安裝防振臺(tái)。

當(dāng)然，用于電鏡的防振臺(tái)更適于其它精密儀器。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上的防震臺(tái)。它為2個(gè)分離單元的隔振墊塊，安裝非常方便。

                                                   

              瑞士Table Stable公司的AVI400型防振臺(tái)

 

2         原理

防振臺(tái)有2鐘：被動(dòng)式和主動(dòng)式的。

被動(dòng)式的是采用橡膠、金屬彈簧、空氣彈簧等，20Hz以下的低頻震動(dòng)減震效果很差，在0~20Hz 會(huì)增加SEM 的諧振，不被采用。

主動(dòng)式的是采用3維探測器，檢測3維方向（X、Y、Z）傳來的外部震動(dòng)，由PID(     )控制器產(chǎn)生等幅、反相的控制信號(hào)，再由執(zhí)行機(jī)構(gòu)產(chǎn)生等幅、反相的內(nèi)部震動(dòng)來抵消或減弱外部的震動(dòng)干擾?，F(xiàn)在，國外技術(shù)的防振臺(tái)都是主動(dòng)式的，常用的有壓電陶瓷式、空氣式、電磁式、電動(dòng)機(jī)式等。

3         選型

瑞士Table Stable公司的執(zhí)行機(jī)構(gòu)-隔振墊塊，是2個(gè)長條式的模塊，體積輕巧，體積小，安裝方便，價(jià)格適中，國內(nèi)用戶較多。相比德國B公司、美國T公司的執(zhí)行機(jī)構(gòu)-隔振墊塊都是方形平臺(tái)式的，體積大，安裝不便，價(jià)格貴，且需要SEM的廠家現(xiàn)場協(xié)助。

4         實(shí)用效果

客戶的EVO MA 25 SEM安裝在3樓，1萬倍以上照相無法進(jìn)行。2012年12至今，使用瑞士的AVI-400型防震臺(tái)，了電鏡的正常使用，10～20萬倍照相，也可以得到滿意圖像.