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CYR-E-NMP-在線NMP濃度檢測儀
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  • CYR-E-NMP-在線NMP濃度檢測儀

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貨物所在地: 湖南長沙市
產(chǎn)地: 湖南長沙
更新時(shí)間: 2025-07-09 17:12:09
期: 2025年7月9日--2026年7月9日
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產(chǎn)品簡介

CYR-E-NMP-在線NMP濃度檢測儀,助力半導(dǎo)體清洗提升良率。實(shí)時(shí)連續(xù)監(jiān)測,秒級響應(yīng),精準(zhǔn)控制NMP濃度,避免清洗不干凈或過度刻蝕。高精度、低維護(hù)、耐高溫耐腐蝕,保障設(shè)備安全與環(huán)保合規(guī),為半導(dǎo)體清洗保駕護(hù)航。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體清洗工藝中,控制 NMP 濃度至關(guān)重要,而基于折光原理的CYR-E-NMP-在線NMP濃度檢測儀正是該領(lǐng)域的主流選擇之一,能有效助力半導(dǎo)體清洗提升良率。

半導(dǎo)體清洗需要控制 NMP濃度。NMP是高效的光刻膠剝離劑和清洗溶劑,濃度直接影響其溶解能力。濃度過低會(huì)導(dǎo)致清洗困難,出現(xiàn)光刻膠殘留;濃度過高則可能造成過度刻蝕或損傷敏感結(jié)構(gòu)。此外,濃度波動(dòng)會(huì)使晶圓批次間的清洗效果出現(xiàn)差異,成為良率波動(dòng)的潛在因素。

CYR-E-NMP-在線NMP濃度檢測儀檢測NMP濃度具有諸多優(yōu)勢。它能夠?qū)崟r(shí)連續(xù)監(jiān)測,提供每秒更新的濃度數(shù)據(jù),及時(shí)反饋清洗槽或循環(huán)管路中 NMP 的實(shí)際狀態(tài),快速響應(yīng)異常情況,避免整批晶圓報(bào)廢?,F(xiàn)代在線折光儀在 NMP 的典型工作濃度范圍內(nèi)精度高,測量基于物理光學(xué)原理,不受溶液顏色、氣泡、懸浮物等干擾,穩(wěn)定性優(yōu)于電導(dǎo)率或 pH 法。儀表設(shè)計(jì)良好,無耗材,減少長期運(yùn)營成本和維護(hù)頻次。

在半導(dǎo)體清洗中,NMP 濃度在線分析儀有多個(gè)典型應(yīng)用點(diǎn),如光刻膠剝離槽主槽或循環(huán)管路中 NMP 工作液濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)控與自動(dòng)補(bǔ)液,清洗 / 漂洗槽監(jiān)控 NMP 殘留或回收液濃度,NMP 回收系統(tǒng)監(jiān)測蒸餾提純后 NMP 的純度,以及廢液處理前監(jiān)控確保廢液濃度符合處理裝置要求。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CYR-E-NMP

測量項(xiàng)目

折射率、溫度、濃度

測量范圍

0-100%

分 辨 率

0.01%

重復(fù)精度

± 0.02%

測量溫度

0至130℃

溫度補(bǔ)償

0-130℃

關(guān)鍵材質(zhì)

觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟

棱鏡材質(zhì)光學(xué)級藍(lán)寶石

信號(hào)輸出

DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號(hào)輸出

輸入電源DC 24V 或 AC 220V

防護(hù)等級

IP65

工藝壓力

≤1MPa(10Bar)更高壓力等級可定制

尺寸重量

傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG

安裝選項(xiàng)

1/2英寸管路安裝

其他功能

多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù)

支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能










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